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X-ray bright-field imaging analyzes crystalline quality and defects of SiC wafers

机译:X射线明场成像分析SiC晶片的晶体质量和缺陷

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摘要

[[abstract]]A new variety of the recently developed technique 'X-ray bright-field imaging' is presented. In its basic version, this approach simultaneously yields diffraction-based information on lattice distortions and radiographic information on structural inhomogeneities, and is based on the detection of reversed diffraction contrast in transmission images. The new version extends the scope of the technique to the quantitative analysis of crystalline quality parameters such as the lattice plane curvature and mosaic distribution in SiC wafers, and makes it possible to correlate such parameters directly with defect (distortions/inhomogeneities) structures.
机译:[[摘要]提出了一种新近开发的技术“ X射线明场成像”。在其基本版本中,此方法可同时生成有关基于晶格畸变的基于衍射的信息和有关结构不均匀性的射线照相信息,并且基于对透射图像中反向衍射对比度的检测。新版本将技术的范围扩展到了晶体质量参数的定量分析,例如SiC晶片中的晶格平面曲率和镶嵌分布,并使将这些参数直接与缺陷(变形/不均匀性)结构相关联成为可能。

著录项

  • 作者

    J. M. Yi;

  • 作者单位
  • 年度 2010
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 [[iso]]en
  • 中图分类

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